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德国PI P-527.2CL精密XY向纳米定位系统技术参数

  • 发布日期:2022-05-07      浏览次数:241
    • 德国PI Physik InstrumenteP-527.2CL精密XY向纳米定位系统

      德国PI Physik Instrumente  多轴压电陶瓷扫描仪
       PI 不仅开发和生产用于线性、旋转和垂直运动或不同轴组合的各种定位平台和执行器。 

      PI 还根据客户特定应用调整这些解决方案,或提供用于运动和定位的成品子系统。

       

      控制是重要的系统组件,也由 PI 提供。这不仅提供了复杂的控制概念,而且还为应用环境提供了硬件和软件接口。

       

      无论是标准产品还是全新开发产品,无论是 OEM 驱动器还是集成系统,我们的目标始终是为每种可能的应用提供较好解决方案。

      2轴和3轴版本(XY和XYθZ型)

      § 行程达200 微米

      § 亚纳米级分辨率

       

      应用领域

      ·         计量

      ·         干涉测量

      ·         光子学/集成光学

      ·         平版印刷术

      ·         纳米定位

      ·         扫描显微镜

      ·         样本对准

      ·         微加工

      带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

      电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

      自动配置和快速部件更换

      机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。 

      PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

      PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

      零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

      柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

      并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

      各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。

      订购信息
       

       

      P-517.2CL

      精密XY向纳米定位系统,100 微米 × 100微米,电容传感器,平行计量,LEMO连接器

       

      P-517.2CD

      精密XY向纳米定位系统,100 微米 × 100微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器

       

      P-527.2CL

      精密XY向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米,电容传感器,平行计量,LEMO连接器

       

      P-527.2CD

      精密XY向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器

       

      P-517.3CL

      精密XYZ向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 20 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量

       

      P-517.3CD

      精密XYZ向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 20 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量

       

      P-527.3CL

      精密XYZ向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米 × 20 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量

       

      P-527.3CD

      精密XYZ向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米 × 20 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量

       

      P-517.RCD

      精密XY向/旋转纳米定位系统,100 微米 × 100 微米,2 毫弧度,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器

       

      P-527.RCD

      精密XY向/旋转纳米定位系统,200 微米 × 200 微米,4 毫弧度,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器

      P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

      用于多达3轴的高精度纳米定位系统

       

       

      § 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

      § 行程达300 × 300 × 300微米

      § 电容式传感器带来最高线性度

      § 零间隙,高精度柔性铰链导向系统

      § 优异的扫描平面度

      § 高动态XYZ版本

      § 通孔尺寸66 毫米×66毫米

      § PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

      § 超高真空版本达10-9百帕

       

      描述

      应用领域

      ·         扫描显微镜

      ·         掩模/晶圆定位

      ·         干涉测量

      ·         测量技术

      ·         生物技术

      ·         扫描和筛选

      带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

      电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

      自动配置和快速部件更换

      机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

      适用于复杂真空应用

      压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

      PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

      PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

      零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

      柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

      并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

      各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。

      订购信息

      P-561.3CD

      具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 100 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量

       

      P-561.3CL

      具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 100 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量

       

      P-561.3DD

      PIMars高动态XYZ向纳米定位系统,45 微米 × 45 微米 × 15 微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器,直接驱动

       

      P-562.3CD

      具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米 × 200 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量

       

      P-562.3CL

      具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米 × 200 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量

       

      P-563.3CD

      具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,300 微米 × 300 微米 × 300 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量

       

      P-563.3CL

       

      具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,300 微米 × 300 微米 × 300 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量

      德国PI Physik InstrumenteP-527.2CL精密XY向纳米定位系统



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      010-64717020,223

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