PI电容式位移传感器Physik Instrumente

D-015 • D-050 • D-100 电容式传感器

亚纳米级分辨率位置传感器

·         适用于具有最高精度要求的应用

·         测量范围达 1000 μm

·         分辨率高达 0.01 nm

·         线性误差高达 0.01 %，采用数字控制器

·         E-509.CxA 控制电子元件，兼容 E-500 压电控制器系统

应用领域

高精度定位。

分辨率

电容式传感器可在较短的距离内实现皮度计的分辨率。理论测量分辨率是无限的。在实践中，散射辐射、几何效应和测量电子噪声会影响可实现的精度。与E-509配合使用。C1A电子元件，D-100.00传感器的有效噪声因数（100μm）为0.02 nm/ÖHz。例如，对应于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 带宽。电子元件的跳线可调带宽高达3 kHz。

除了此处列出的标准传感器外，PI还提供定制版本，例如测量，几何形状，材料，电子等。

电容式测距原理

两种类型的电容式距离传感器很常见：单电极传感器和两电极传感器。

双电极传感器可以实现更低的噪声水平和更高的分辨率。其原理基于两个导电表面和高频（>100kHz）交流电，在它们之间产生均匀的电场。电容与有效表面除以距离成正比。对于给定区域，测量的距离与距离成正比。单电极电容式传感器的工作原理类似。它们更易于处理，并且可以针对各种导电表面进行测量。

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