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PI电容式位移传感器Physik Instrumente

产品型号:D-015

厂商性质:经销商

浏览次数:111

更新时间:2022-06-14

简要描述:

PI电容式位移传感器Physik Instrumente,电容(电容式)位移传感器是测量、高动态纳米计量器件,可提供高的线性度和精度。PI电容传感器/信号调理器电子元件利用高频交流激励信号来增强带宽和无漂移测量稳定性(可以在几个小时内实现亚纳米级稳定性)。为了提供精度等级更高、分辨率优于一纳米的纳米定位系统,PI开始开发电容式位置传感器件。

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PI电容式位移传感器Physik Instrumente
品牌其他品牌应用领域化工,石油,电子,制药,综合

PI电容式位移传感器Physik Instrumente

D-015 • D-050 • D-100 电容式传感器

亚纳米级分辨率位置传感器

·         适用于具有最高精度要求的应用

·         测量范围达 1000 μm

·         分辨率高达 0.01 nm

·         线性误差高达 0.01 %,采用数字控制器

·         E-509.CxA 控制电子元件,兼容 E-500 压电控制器系统

应用领域

高精度定位。

分辨率

电容式传感器可在较短的距离内实现皮度计的分辨率。理论测量分辨率是无限的。在实践中,散射辐射、几何效应和测量电子噪声会影响可实现的精度。与E-509配合使用。C1A电子元件,D-100.00传感器的有效噪声因数(100μm)为0.02 nm/ÖHz。例如,对应于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 带宽。电子元件的跳线可调带宽高达3 kHz

除了此处列出的标准传感器外,PI还提供定制版本,例如测量,几何形状,材料,电子等。

电容式测距原理

两种类型的电容式距离传感器很常见:单电极传感器和两电极传感器。

双电极传感器可以实现更低的噪声水平和更高的分辨率。其原理基于两个导电表面和高频(>100kHz)交流电,在它们之间产生均匀的电场。电容与有效表面除以距离成正比。对于给定区域,测量的距离与距离成正比。单电极电容式传感器的工作原理类似。它们更易于处理,并且可以针对各种导电表面进行测量。

PI电容式位移传感器Physik Instrumente

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